抚顺特钢携手中科院金属所研制出半导体领域用超高纯不锈钢

突破技术壁垒 实现定制化生产

　　本报讯 记者姜义双报道 历时5年，中国科学院金属研究所和抚顺特殊钢股份有限公司联合攻关，经过上千次试验，突破了国外的技术壁垒，成功研制出半导体领域用超高纯不锈钢316LVV。目前，抚顺特钢已经实现定制化生产，并先后为国内十多家半导体设备企业供货。

　　316LVV超高纯不锈钢因具有极低的杂质含量、出众的耐腐蚀性等特性，广泛应用于半导体装备制造、电子特气输送等行业。近年来，随着半导体产业的蓬勃发展，半导体设备需求剧增，带动生产半导体设备的原材料用量大幅度提升。作为生产半导体设备必需的316LVV超高纯不锈钢却常年依赖进口，西方国家对我国316LVV超高纯不锈钢时常限供甚至断供。

　　为摆脱受制于人的被动局面，2021年，抚顺特钢成立科研团队，决心攻克这一难题，实现自主生产。“抚顺特钢具有多年生产高纯不锈钢的技术积累、生产工艺和生产装备，我们对突破国外技术壁垒充满信心。”团队负责人、抚顺特钢技术中心不锈钢室主任潘彦丰说。

　　然而，研制难度超出了潘彦丰的预估。316LVV超高纯不锈钢对化学成分、夹杂物控制、临界点蚀温度、放气率等的要求近乎苛刻，虽然科研团队经过十多炉的小炉型试验，研制品技术质量指标仍未达到国外同类产品实物水平。

　　2023年，在省工信厅的推动下，抚顺特钢和中国科学院金属研究所达成合作意向。2024年3月，双方签订《超纯不锈钢技术许可合同》；同年5月，在双方努力下，成功研制出达到国外同类产品性能的316LVV超高纯不锈钢，双真空工艺达到6吨级，具备批量生产能力。

　　“当第三方检测评价报告出来的那一刻，大家都非常激动，能为国家在半导体领域用超纯不锈钢取得突破、实现自主可控出一份力，我们十分自豪。”潘彦丰说。

　　试制成功后，科研团队将其送往半导体设备生产企业进行试用验证，并根据试用结果不断改进生产工艺。经过一年多的持续改进，目前，抚顺特钢已经能够根据客户需求，定制生产适用不同工况的棒材、方材、扁材、异型材等类型的316LVV超高纯不锈钢。

　　抚顺特钢销售公司开发科业务经理崔博凯告诉记者：“相较国外进口的同类产品，我们的316LVV产品纯净度及耐腐蚀性都提升了10%以上，每吨售价却低了3万元至5万元，加上交货时间比进口料缩短3个月以上，所以下游客户使用后都非常满意，订单量不断增长。”

　　目前，抚顺特钢316LVV超高纯不锈钢的工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平，产能规模国内领先。

责编：刘 新
审核：叶 健