在人们的印象里，真空炉貌似平常，但要使炉内温度达到2400℃，实现半导体材料制备领域对高纯度材料的提纯制备要求，完成真空环境材料热处理、多种高科技材料真空热压烧结，以解决航空航天、医疗环保、新材料制备、电子信息技术等领域特种工艺制备的“卡脖子”问题，就离不开特殊专用的真空特种设备了。

　　在沈阳市浑南区，沈阳恒进真空科技有限公司的生产车间里，各种款式的真空特种设备半成品停放在产线上，工人正忙着焊接、吊装、测试……“客户需要的极限真空度、均温区尺寸、冷却速度等指标各不相同，因此几乎每个产品都是非标定制，结构各不相同，这对我们精细运用真空技术是一种考验。”公司总经理曲绍芬说。

　　从上世纪80年代开始学习真空技术，到毕业后进入研究所工作，再到2000年率队创业，成立沈阳恒进真空科技有限公司，曲绍芬及其团队始终在和打造非标真空特种设备较劲儿。

　　这般执着为哪般？事实上，广泛应用于电子、信息、汽车、电动工具、航空航天等领域的高纯度材料，要达到99.9999%的超高纯度，离不开前端设备真空炉的炼制，稍有闪失，一炉的材料损失甚至高达上百万元，更会砸招牌、丢客户。

　　在创业初期的十几年里，曲绍芬团队始终坚持技术攻关在先，使自己的真空炉产品日渐成熟，并积攒了市场口碑。但随着科技进步和材料的发展，企业高层意识到产品单一的问题，迫切需要进行产品结构调整。

　　“2014年，基于发展理念更新，公司内部结构进行了一次大改革，所有初创股东全员下岗，重新选择职位。在管理层引入‘外脑’，使企业的发展理念更新得更彻底。”忆及当时的场景，曲绍芬无限感慨。

　　调整产品结构，关键在于技术创新。

　　在这次“破局”中，风门换向技术成为最大的硬骨头。全程参与此次技术创新的总工程师杨建川说：“早在2010年前，就有企业找到我们，希望我们提供风门换向真空炉，以替代国外设备。可就是这样送上门的蛋糕，我们却没有能力接单，只好无奈地放弃。”

　　风门换向到底有多难？杨建川通俗地解释道，真空炉在工作时双向每30秒换向，以使冷却速度在30秒内从约1100℃降至150℃，频繁换向对设备结构、元器件以及保持真空密封性能都提出了严苛要求，甚至出现问题如何补救等都在设计考虑范畴。

　　4年里，技术攻关团队不断调整方案、反复试验、完善细节、产品改型，终于在2020年拿出具有稳定风门换向功能的烧结炉产品，受到市场的青睐，也为公司赢来更大的发展机遇。

　　在公司副总工程师赵建业的工作台上，十多个连接电脑的电子元件闪烁着不同的数据，依据这些数据，他不停地在电脑上修正设计参数。赵建业说：“技术创新永无止境。产品虽然有了，可以优化的空间并不少，比如怎样做才能更加智能化、自动化，更环保节能。”

　　由于恒进真空的产品技术先进、性能稳定，切合市场需求，即使在抗击新冠肺炎疫情期间，产值也实现年均20%的增长。2022年，更是恒进真空高速增长的新阶段，当年产值增长率首次突破30%，同时引进一家上市公司成为战略合作伙伴，并获得一个3亿多元的半导体靶材产线大订单。

　　“按照目前的市场订单和生产进度，我们预计今年的产值将突破2亿元，明年有望达到3亿元。现有的厂房已经不能满足生产能力，今年新增的1万平方米厂房已经投入使用。”曲绍芬说。

　　在真空炉这个小众的细分领域，沈阳恒进真空潜修内功，凭借过硬的产品和高效的服务，慢慢成长为行业的佼佼者。这个公司的成长轨迹，一如它的名字“恒进”那样，正持续不断地进步。

责编：李明
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